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课程思政我们在行动
守初心,担使命|课程思政,我们在行动(九)光刻图形异常故障处理
日期:2022-08-02 信息来源:苏州信息职业技术学院 阅读量: 7194

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课程名称:半导体制造工艺技术

教学内容:“芯”欣向荣,“机”不可失——光刻图形异常故障处理

主讲教师:陈新娟 通信与信息工程系

重点难点:         

重点:光刻图形异常故障处理

难点:光刻机的工作原理

内容简介

通过热点话题引发学生探讨,激发使命担当、爱国热情。

结合工艺工程师岗位需求,发布任务:光刻图形异常故障处理。 采用任务驱动,问题导向,激发学生学习动力,培养合作意识。学生完成光刻机的工作原理解说,并对光刻机种类进行区分识别,结合CD尺寸的讲解,弘扬工匠精神。利用虚拟平台,学生熟练完成光刻机曝光工艺操作,解决光刻图形异常故障,夯实技能,强化品质和规范意识。

价值目标

激发民族荣誉感,树立使命担当意识;

激发团结协作意识,促进小组合作互助;

强化职业规范意识,培养品质观念,弘扬工匠精神。

实施过程

1.关注社会热点,弘扬使命担当

从“用口罩换光刻机”的网络热点话题为导入,引发学生思考:为什么高端技术是卡脖子问题?唯有自主研发,才能打破技术封锁,真正成为制造强国,激发学生的民族荣誉感,树立使命担当意识。

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2.执行学习任务,促进合作学习

发布教学任务:光刻图形异常故障处理。以光刻工序实际生产中的故障图为切入点,激发学习动力和创新意识。学生讨论,针对故障种类进行分类并发言,锁定场偏故障原因,引出光刻机的工作原理,促进互助合作学习。

 

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3.精准参数计算,弘扬工匠精神

播放光刻机的工作原理动画,结合摩尔定律引出特征尺寸CD概念,学生汇报光刻机的分类以及目前市场光刻机的特征参数,教师总结CD参数在“3nm”集成电路工艺和EUV光刻机等方面的重要意义。唯有精益求精,才能生产出高集成度、高效、高性能、低价格的芯片,以此弘扬工匠精神。

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4.突出虚实结合,强化品质意识

学生于虚拟平台完成光刻工艺的相关操作,领料与参数设置——>设备运行——>故障处理,明确参数设置的意义——“失之毫厘,谬以千里”,结合企业在实际工艺生产中的故障,分析原因并掌握故障解决的基本方法。校企联动,虚实结合,品质把控,通过本环节着重培养学生的职业技能,强化品质和规范意识。

 

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教学体会

课程思政不仅要求教师具有较强的专业知识技能,同时要有崇高的德行和敏锐的政治洞察力,巧妙有效地将思政教育与专业技能培养相融合,实现教之以事,而喻诸德,激发学生的学习动机,产生价值认同感、归属感以及使命感,实现立德树人,培养大国工匠!

 


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